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环境扫描电镜ESEM
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环境扫描电镜(ESEM)

2019-03-13 14:16:02
面向学科 工业和理论 材料研究、生命科学、半导体、数据存储、自然资源 等
样品要求 具体的样品 有不同的前处理方法
测试仪器 仪器名称:环境扫描电镜ESEM
仪器型号:FEI Q45

生产厂家:美国
仪器技术参数     技术参数:

1.分辨率:
 二次电子:
  高真空模式 1.0nm @ 30kV; 3.0nm @ 1kV
  高真空减速模式 2.3nm @ 1kV, 3.1nm @ 200V (可选项)
  低真空模式 1.4nm @ 30kV; 3.0nm @ 3kV
  环境真空模式 1.4nm @ 30kV
 背散射电子:
  高真空和低真空模式: 2.5nm @ 30kV
 扫描透射STEM探测器:
  0.8nm @ 30kV
2.加速电压 200V ~ 30kV, 连续可调
3.高稳定性Schottky场发射电子枪
4.最大束流 200nA
5.样品室压力最高达4000Pa
6.样品台移动范围
 Quanta 250 FEG: X=Y=50mm
 Quanta 450 FEG: X=Y=100mm
 Quanta 650 FEG: X=Y=150mm



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